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更新時間：2024-06-21簡要描述：采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結(jié)構(gòu)進行非接觸式的測量，評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測量視場大小和精度也不同。視場的擴展可通過釘合的方式來實現(xiàn)
采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結(jié)構(gòu)進行非接觸式的測量，評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測量視場大小和精度也不同。視場的擴展可通過釘合的方式來實現(xiàn)。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤，使采集的單個測量點相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比，微透鏡掃描盤使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源，避免了使測量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無限長。儀器配備了物鏡切換盤，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
檢測物件的設(shè)定和測量全過程可以通過一個獨立的監(jiān)視器觀察。測量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評估程序。
儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
| 共焦顯微鏡頭 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡 帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器 | |
| 光源 | LED |
| 壽命 h | > 50,000 |
| 采用步進電機時的測量范圍mm | 50 |
| 采用壓電執(zhí)行器件時的測量范圍µm | 100/150 |
| zui高垂直分辨率 nm | 5 |
| zui高橫向分辨率µm | 1 |
| 工作距離mm | 0.66 |
| 視場µm | 370 x 280 |
| 256個高度臺階的測量時間s | 約 30 |
| 重量kg | 約12 |
| 測量工作臺 | |
| X、Y、Z每軸位移mm | 50 |
| zui小步距µm | 1 |
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